离子束探针

【词语拼音】lí zǐ shù tàn zhēn

【词语繁体】離子束探針

【词语结构】式词语

【词语字数】五字词语

【网络解释】
离子束探针，以聚焦很细(1～2微米)的高能（10～20千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器，聚焦很细，为1～2微米。