离子束外延

【词语拼音】lí zǐ shù wài yán

【词语繁体】離子束外延

【词语结构】式词语

【词语字数】五字词语

【网络解释】
离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。