离子铣
【词语拼音】lí zǐ xǐ
【词语繁体】離子銑
【词语结构】ABC式词语
【词语字数】三字词语
【网络解释】离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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