离子束清洗

【词语拼音】lí zǐ shù qīng xǐ

【词语繁体】離子束清洗

【词语结构】式词语

【词语字数】五字词语

【网络解释】
离子束清洗（ion beam cleaning）把离子束抛光的原理应用于清洗晶片表面，称为离子束清洗。与其他清洗方法相比，离子束清洗具有无沾污、表面结构完整、无微坑等优点。