阴极溅射

【词语拼音】yīn jí jiàn shè

【词语繁体】陰極濺射

【词语结构】ABCD式词语

【词语字数】四字词语

【网络解释】
当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极之间加上一定的电压，气体就会发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射就称为阴极溅射。