真空溅射
【词语拼音】zhēn kōng jiàn shè
【词语繁体】真空濺射
【词语结构】ABCD式词语
【词语字数】四字词语
【网络解释】
真空磁控溅射技术是指一种利用阴极表面配合的磁场形成电子陷阱,使在E×B的作用下电子紧贴阴极表面飘移。设置一个与靶面电场正交的磁场,溅射时产生的快电子在正交的电磁场中作近似摆线运动,增加了电子行程,提高了气体的离化率,同时高能量粒子与气体碰撞后失去能量,基体温度较低,在不耐温材料上可以完成镀膜。这种技术是玻璃膜技术中的最尖端技术,是由航天工业、兵器工业、和核工业三个方面相结合的顶尖技术的民用化,民用主要是通过这种技术达到节能、环保等作用。
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