磁控溅射法

【词语拼音】cí kòng jiàn shè fǎ

【词语繁体】磁控濺射法

【词语结构】式词语

【词语字数】五字词语

【网络解释】
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。