衬底支撑组件

【词语拼音】chèn dǐ zhī chēng zǔ jiàn

【词语繁体】襯底支撐組件

【词语结构】式词语

【词语字数】六字词语

【词语解释】
拼音：chèn dǐ zhī chēng zǔ jiàn 解释：衬底支撑组件在处理室中支撑衬底。所述的衬底支撑组件具有：支撑块，所述支撑块具有电极;以及臂，用于在所述处理室中支持所述的支撑块，所述的臂具有贯穿其中的通道。所述的臂具有固定到所述支撑块的第一夹板以及固定到所述处理室的第二夹板。多个电导体穿过所述臂的所述通道，而陶瓷绝缘体处在所述的导体之间。

【网络解释】

衬底支撑组件在处理室中支撑衬底。所述的衬底支撑组件具有：支撑块，所述支撑块具有电极；以及臂，用于在所述处理室中支持所述的支撑块，所述的臂具有贯穿其中的通道。