快速热退火

【词语拼音】kuài sù rè tuì huǒ

【词语繁体】快速熱退火

【词语结构】式词语

【词语字数】五字词语

【网络解释】
快速—热退火( RTA) 是半导体加工工艺中的一种常规技术手段，一般用来激活半导体材料中的掺杂元素和将由离子注入造成的非晶结构恢复为完整晶格结构。