快速热处理

【词语拼音】kuài sù rè chǔ lǐ

【词语繁体】快速熱處理

【词语结构】式词语

【词语字数】五字词语

【网络解释】
在半导体工艺中，需要对晶圆做快速热处理（rapid thermal processing，RTP），即在几秒或更短的时间内把晶圆加热到1000 ℃左右。