真空镀膜设备
【词语拼音】zhēn kōng dù mó shè bèi
【词语繁体】真空鍍膜設備
【词语结构】式词语
【词语字数】六字词语
【网络解释】
真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
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