真空蒸镀

【词语拼音】zhēn kōng zhēng dù

【词语繁体】真空蒸鍍

【词语结构】ABCD式词语

【词语字数】四字词语

【网络解释】
真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。