极紫外光源
【词语拼音】jí zǐ wài guāng yuán
【词语繁体】極紫外光源
【词语结构】式词语
【词语字数】五字词语
【网络解释】
极紫外辐射（EUV）或高能紫外辐射是波长在124nm到10nm之间的电磁辐射，对应光子能量为10eV到124eV。自然界中，日冕会产生EUV。人工EUV可由等离子源和同步辐射源得到。主要用途包括光电子谱，对日EUV成像望远镜，光微影技术。 EUV是最易被空气吸收的谱段，因此其传输环境需高度真空。
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