极紫外光刻
【词语拼音】jí zǐ wài guāng kè
【词语繁体】極紫外光刻
【词语结构】式词语
【词语字数】五字词语
【网络解释】
极紫外光刻（Extreme Ultra-violet），常称作EUV光刻，它以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源的光刻技术。具体为采用波长为13.4nm 的紫外线。极紫外线就是指需要通过通电激发紫外线管的K极然后放射出紫外线。
极紫外光源紫外光极紫外星极紫外源紫外光谱紫外荧光紫外光源光刻紫极紫外滤光器紫外光清洗紫外光谱仪紫外激光机紫外光度计紫外激光器紫外光灭菌紫外荧光灯紫外光谱法激光紫外机紫外光通信紫外荧光粉紫外光照射紫外线光源紫外曝光机极紫外探测器激光光刻极光光刻法光刻胶刻光盘光刻蚀软光刻光蚀刻南极极光刻叶紫堇北极极光紫外灯紫外超紫外线刻裂紫堇极限时刻紫光苑光紫茎紫光阁紫激光极光录极光下极光冕北极光极光刀极光带极光卵南极光极光术紫光檀紫光路紫光灯紫光虾激光刻蚀激光刻印雕刻时光荣光时刻光刻负胶光刻技术光刻掩模一刻阳光时光雕刻光电雕刻激光修刻铭刻时光高光时刻光驱刻录刻录光盘刻录光驱镌刻荣光秋光时刻光辉时刻激光雕刻光雕刻录光影雕刻光明时刻光荣时刻星光时刻紫极创灭假刻叶紫堇紫极天帝红外光外光画极品时刻表刻刻紫外灾变紫外玻璃远紫外线紫外天体紫外成像紫外辐射