工艺窗口

【词语拼音】gōng yì chuāng kǒu

【词语繁体】工藝窗口

【词语结构】ABCD式词语

【词语字数】四字词语

【网络解释】
光刻工艺容限，也称光刻工艺窗口，指的是保证掩模图形能正确复制到硅片上的曝光剂量和离焦量范围，它包含三个方面的信息：成像精确度、曝光度和焦深。