工艺窗口
【词语拼音】gōng yì chuāng kǒu
【词语繁体】工藝窗口
【词语结构】ABCD式词语
【词语字数】四字词语
【网络解释】
光刻工艺容限,也称光刻工艺窗口,指的是保证掩模图形能正确复制到硅片上的曝光剂量和离焦量范围,它包含三个方面的信息:成像精确度、曝光度和焦深。
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