光掩膜版

【词语拼音】guāng yǎn mó bǎn

【词语繁体】光掩膜版

【词语结构】ABCD式词语

【词语字数】四字词语

【网络解释】
光掩膜基版是制作微细光掩膜图形的理想感光性空白板，通过光刻制版工艺可以获得所需光掩膜版。