光掩膜

【词语拼音】guāng yǎn mó

【词语繁体】光掩膜

【词语结构】ABC式词语

【词语字数】三字词语

【网络解释】
在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆（wafer）制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。