离子注入机

【词语拼音】lí zǐ zhù rù jī

【词语繁体】離子註入機

【词语结构】式词语

【词语字数】五字词语

【网络解释】
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。