洁净隧道
【词语拼音】jié jìng suì dào
【词语繁体】潔凈隧道
【词语结构】ABCD式词语
【词语字数】四字词语
【网络解释】
以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。 洁净隧道另有二项优点： A.弹性扩充容易； B.维修设备时可在维修区轻易执行。
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