衍射光学元件
【词语拼音】yǎn shè guāng xué yuán jiàn
【词语繁体】衍射光學元件
【词语结构】式词语
【词语字数】六字词语
【网络解释】
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。
光衍射衍射光栅衍射光谱衍射辐射元件反射元件光纤元件光敏元件感光元件声衍射衍射角衍射屏光学零件光学辐射光学条件元件晶体衍射衍射效率衍射条纹波浪衍射中子衍射衍射效应衍射现象选区衍射电子衍射衍射衬度单晶衍射圆盘衍射衍射极限衍射平显发射光谱学光电耦合元件光电磁敏元件光元元件面元器件元件盒膜元件阈元件元文件衍衍布拉格衍射菲涅耳衍射聚焦衍射束电子衍射法布喇格衍射大学衍义射击条件入射光直射光条件反射光反射散射光光辐射反射光镭射光漫射光光漫射光发射透射光反射学射击学射击诸元偏心元件采样元件时间元件检测元件反应元件控制元件比较元件气动元件测温元件液力元件线性元件元件四村启动元件图元文件燃料元件电子元件电容元件电热元件接合元件有源元件标准元件成像元件敏感元件机械元件曲拐元件压电元件基础元件存储元件液压元件电压元件电气元件元件二村方向元件