扩散炉
【词语拼音】kuò sàn lú
【词语繁体】擴散爐
【词语结构】ABC式词语
【词语字数】三字词语
【网络解释】
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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