投影透镜
【词语拼音】tóu yǐng tòu jìng
【词语繁体】投影透鏡
【词语结构】ABCD式词语
【词语字数】四字词语
【网络解释】
投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。
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