对准精度

【词语拼音】duì zhǔn jīng dù

【词语繁体】對準精度

【词语结构】ABCD式词语

【词语字数】四字词语

【网络解释】
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。