聚焦环
【词语拼音】jù jiāo huán
【词语繁体】聚焦環
【词语结构】ABC式词语
【词语字数】三字词语
【网络解释】
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
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