椭偏仪

【词语拼音】tuǒ piān yí

【词语繁体】橢偏儀

【词语结构】ABC式词语

【词语字数】三字词语

【网络解释】
椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。