椭偏仪
【词语拼音】tuǒ piān yí
【词语繁体】橢偏儀
【词语结构】ABC式词语
【词语字数】三字词语
【网络解释】椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高,适用于超薄膜,与样品非接触,对样品没有破坏且不需要真空,使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。
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