步进光刻机
【词语拼音】bù jìn guāng kè jī
【词语繁体】步進光刻機
【词语结构】式词语
【词语字数】五字词语
【网络解释】
步进光刻机是把投影掩模版上的图形与涂胶硅片进行对准，而后从一点到另一点逐场曝光。
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