防护环

【词语拼音】fáng hù huán

【词语繁体】防護環

【词语结构】ABC式词语

【词语字数】三字词语

【网络解释】
：一种用于淀积机台的防护环。当晶片配置于淀积机台上，且防护环配置于晶片周围时，防护环邻近晶片的顶面不低于晶片顶面。此外，当晶片配置于淀积机台上，且防护环配置于晶片周围时，防护环与晶片之间的间距小于0.7毫米。本发明的防护环可使得薄膜在晶片侧壁不会形成侧边淀积的现象，因此可提高薄膜淀积工艺的平坦度与良率。