准分子光源
【词语拼音】zhǔn fèn zǐ guāng yuán
【词语繁体】準分子光源
【词语结构】式词语
【词语字数】五字词语
【网络解释】
在光源辐射机理研究中，近年来采用准分子（Excimer）工作物质，如KrF、ArP、NeF和XeCl等，来制造高功率的紫外光源。
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