全氟化合物
【词语拼音】quán fú huà hé wù
【词语繁体】全氟化合物
【词语结构】式词语
【词语字数】五字词语
【网络解释】
PFC是指全氟化合物，在半导体制造领域，主要是在CVD工序中做为清洁气体使用和在干法刻蚀工序中作为工艺气体使用。其由于能破坏地球的臭氧层产生温室效应已经被列为减少排出对象。
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