吹洗体积

【词语拼音】chuī xǐ tǐ jī

【词语繁体】吹洗體積

【词语结构】ABCD式词语

【词语字数】四字词语

【网络解释】
吹洗体积p.}rged }alume拟被吹除或置换的不需要的气体所占据的管道、阀门，减压器和其他部件的体积之和。在半导体厂供气系统中，要求尽量缩短供气管，阀门、J}压器和其他配件的内部容积应尽叮能小，没食死体积，与气休接触的材质表面光洁，不吸附气体和水分，不放气、无粒子脱落。满x}` }}i}}条件就可以减少吹洗用气休量，缩短吹洗时间。